| 兼有宏-微视场观测的超分辨差动共焦显微镜 |
| CN200910079328.6 2009-3-6 发明申请 |
| 2009-8-5 |
| 本发明属于光学显微成像及光学精密测量技术领域，涉及一种兼 有宏-微视场观测的超分辨差动共焦显微镜，主要包括激光器(1)、 扩束器(2)、分光镜(4)、偏振分光镜(5)、量程扩展跟综测量系统 (6)、测量物镜(7)、聚光镜(16)和(19)以及针孔(17)、(20) 和探测器(18)、(21)，还包括位于分光镜反射方向反方向的LED发 光二极管(12)，和位于分光镜(9)的反射方向的CCD探测器(11)。 本发明中的LED发光二极管和CCD探测器，对被测样品的表面面型的 进行成像，来实现共焦显微镜的宏视场观察，并采用差动共焦显微镜 的光路布置提高共焦显微镜的轴向分辨力。 |
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