| 测量探针I。E。悬臂,用于检查样品E中提供的方法。G。原子力显微镜,包括处理测量之前或之后,测量探针,其中测量探针被保持在载体装置 |
| DE102008005248 2008-1-18 发明申请 |
| 2009-7-30 |
| 可用本发明涉及一种用于制造过程可用一测量探针(1,1a,2)用于一探针显微的调查一个样品在一探针显微镜,特别是一种光栅探针显微镜,与所述测量探针(1),其中一个基于探针(1a)和一个形成hieran探针延伸部(2),在展宽器机构被保持和所述测量探针(1)之前或之后测量显示出一个上工作,通过所述探针延伸的一个部分(2)一个分离。所述另外一个本发明涉及一种装置与一用于探针显微探针显微镜样品的检查,在特定的光栅探针显微镜。 |