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对电子显微镜下研究的样品进行漂移校正的自动化应用

US17817248 2022-8-3 发明授权

2022-11-29

公开了用于校准透射电子显微镜的方法和系统。样品架上的基准标记用于识别已知的参考点，从而可以定位样品架上的电流收集区域和通孔。进行多个束流和束流面积测量，并且从测量结果外推校准表，用于全范围的显微镜参数。然后，在给定配置的实验期间，使用校准表来确定样品的电子剂量。