| 扫描型探针显微镜 |
| WOJP08000078 2008-1-24 发明申请 |
| 2009-7-30 |
| 从激光光源发出的光的部分(11)用于检测一悬臂(4)的位移是通过采取一种半透半反镜(20)和引入到一个光检测器(21)具有一种四分割光接收表面。如果所述发射光的发射方向是倾斜的一因子诸如改变在一个环境温度，一个光点位置移动所述光接收表面上的所述光检测器(21)。因此，该倾斜的量和所述倾斜方向在所述的发光可被识别的从该运动的量和方向。一驱动量计算单元(22)计算该驱动量根据所述量和方向的所述倾斜，和使致动器(23)，以使所述激光光源(11)围绕y-轴和Z-轴。因此，该倾斜在所述的发光方向可被补偿，和错误识别的样品表面被可以防止不均匀。 |
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