| 一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置 |
| CN200910105380.4 2009-2-17 发明申请 |
| 2009-7-29 |
| 本发明公开了一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置，其包括承载 体；所述的承载体的底面水平，其表面设有垂直于底面的、向上方贯通的 凹槽；所述的固定装置还包括设置在承载体的凹槽外侧的、向凹槽内的方 向提供紧固力的固定件。由于要对微钻的钻尖部分进行检测，就必须保持 钻头垂直于样品台，如有倾斜则不利于观察钻尖部分刃面完整的磨损形貌 特征，而由于扫描电子显微镜的样品仓的空间是很小的，而且样品仓的载 重也是有限的，现有技术中尚没有适合在扫描电镜检测过程中使用的供夹 持微钻的固定装置。 |
微信公众号