| 扫描探针显微镜，其测量顺序的确定方法，及其测量方法。 |
| JP2007337380 2007-12-27 发明申请 |
| 2009-7-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够通过一个蠕变引起的误差减少的一种测量而不降低吞吐量在测量由所述扫描探针显微镜配备与一个粗移动的Z-轴级具有一个粘弹性特性，其测量顺序的确定方法，及其测量方法。溶液 : 该扫描探针显微镜，其是一种显微镜检查装置(原子力显微镜10)用于测量每个高度位置。一种的多个测量点的(一个基端，所述中心，一尖端或等)中包含一个测量一半导体晶片的区域11所述粗移动的Z-轴上加载阶段42包括一元件具有所述粘弹性特性，是预先配备有一控制部分30用于测量每个所述多个测量点的蠕变的状态完成后的所述的显微镜检查装置，和执行测量以下所述多个测量点的所述的测量顺序在所述小的顺序确定所述的蠕变的量基于所述测量结果。版权 : (C)2009，inpit |
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