| 在一种透射电镜结合定量，并允许操作的电容式换能器纳米内凹 |
| JP2008554339 2007-2-8 发明申请 |
| 2009-7-16 |
| 可致动的电容式换能器，包括换能器本体，一种第一包括可移动电容器电极并且电性地配置作为静电致动器，和第二电容器，包括可移动的电极并且电性地配置为电容式位移传感器，所述第二电容器，包括多片电容器。所述可致动的电容式传感器还包括联接轴配置成机械地耦合的可移动的电极第一的电容器所述可移动的电极第二的电容，形成可移动的电极单元，它可相对于换能器本体，和导电压头机械地联接到联接轴以可移动统一与可移动的电极单元。- |
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