| microfabrication的方法，使用原子力显微镜 |
| JP2009068503 2009-3-19 发明申请 |
| 2009-7-9 |
| 要解决的问题 : 以提高加工质量和加工精度的一种microfabrication装置利用一种原子力显微镜。溶液 : 一聚焦离子束装置是结合在所述microfabrication装置利用一种原子力显微镜，和通过使用细处理能力的一聚焦离子束8在蚀刻或沉积，一种原子力显微镜探针的加工11，用于处理，去除所述探头上的沉积，形成的一个漂移标记，一个垂直的横截面的处理; 生产的划痕线的一处理部分，和用于避免应力的浓度在一开始点的开槽加工被进行以作为到一个单microfabrication补偿的缺点装置利用一种原子力显微镜，并由此; 提高所述的加工质量和加工精度。版权 : (C)2009，&inpit |
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