| 调整一长度测量的方法或扫描电镜SEM |
| JP2006088092 2006-3-28 发明授权 |
| 2009-7-8 |
| 要解决的问题：为了解决具有使用多极透镜的像差校正器的电子束设备在光轴调整时在像差校正器单元中的轴向匹配失败和在像差校正器之外的部分中的轴向匹配失败方面不清楚区分，因此需要花费长的调整时间的问题。 解决方案：装置设置有用于操作像差校正器的扫描模式和用于不操作像差校正器的扫描模式，并且像差校正器和电容透镜等的操作被控制，使得物镜的物点在两种模式下都不改变。 当在两种模式下比较测试件的二次电子图像时，图像放大率和焦点不改变，从而可以仅区分和评估像差校正器的效果以进行调整，并且可以缩短轴调整时间。 版权：(C)2006年，JPO&NCIPI |
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