| 焦点调整装置和显微镜装置 |
| JP2007324841 2007-12-17 发明申请 |
| 2009-7-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一个聚焦检测装置能够保证一个高聚焦的精度，而不管的所述一个样品的一个图案的形状。溶液 : 所述焦点调整装置包括一突出的突出部图案的光以一个样品，一种成像光学系统; 一个聚焦检测部，一驱动部分，一个操作部分，和一个控制部分。基于形成图像的对比度的量由所述成像光学系统，通过使用光反射从所述样品，所述聚焦检测部分产生一散焦信号，它指示一个所述的方向中位移一个所述物镜的聚焦位置之间的光学轴和所述样品。基于该散焦信号，所述驱动部分之间的间隔调整所述物镜和所述样品。该操作部分，计算该比例的该散焦的变化在所述输出信号相对于所述所述物镜的运动的量。使用该所述物镜的焦点深度和所述的比例变化，输出值用于一一个聚焦范围中的散焦信号落在该样品的观察期间被确定。版权 : (C)2009，inpit |
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