| 用于深紫外光学显微镜检查设备和方法 |
| US12304494 2007-6-12 发明申请 |
| 2009-7-2 |
| 公开了一种用于执行光学显微镜检查的设备和方法。 在至少一个实施例中，所述装置包括深紫外光源，所述深紫外光源被配置成产生具有在电磁光谱的深紫外光区域中的窗口内的波长的光，在所述窗口内发生氧吸收系数的局部最小值。 此外，所述装置包括透镜装置，其接收所生成的光的至少第一部分，将所生成的光的所述第一部分中的至少一些引向位置，接收来自所述位置的反射光，并将所述反射光中的至少一些引向另一位置。 此外，该设备包括位于另一位置和另一位置之一的相机设备，其中相机设备接收反射光的至少第二部分，由此相机设备生成图像。 |
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