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使用聚焦离子束的透射电镜分析方法及透射电镜样本结构

CN200810180795.3 2008-12-2 发明申请

2009-7-1

一种使用FIB(聚焦离子束)的TEM(透射电镜)分析方法，包括：将TEM样本划分为多个分析区；确定用于每个分析区的FIB 束流；以及通过使用确定的FIB束流在每个分析区上执行FIB铣削。此外，该方法包括将TEM样本放置到TEM样本格上，并在TEM 样本上透射TEM电子束以执行TEM分析。