目的 : 一种扫描电子显微镜的一氮气体滤光器组件被设置以防止生成聚集体的微颗粒粉末型的一表面上的一晶片通过形成一种新的组合物的一种气体滤波器的一个氮注入线和一空气阀。<\/P>

构成 : 一种扫描电子显微镜的一氮气体滤光器组件包括一氮气体管线(200)，第一氮气体过滤器，和一空气阀(40)。所述氮的一个端气体线是与一装卸锁定室的一个上部连接。一种第二氮气体滤光器安装在所述氮气体中的线的一中间部分，以便供给所述氮气体。所述氮气体滤波器被与所述另一端连接所述氮气体中的线，以便滤波器的颗粒。一种空气阀是安装在一个所述氮气体中的线的中间部，以便控制一供应氮气的气体。<\/P>