| 三自由度纳米操纵及双轴倾转的透射电子显微镜样品杆 |
| CN202211086150.X 2022-9-6 发明申请 |
| 2022-11-4 |
| 本发明公开了一种三自由度纳米操纵及双轴倾转的透射电子显微镜样品杆，包含：驱动杆架、驱动轴、X?α驱动单元、Y?Z驱动单元和β驱动单元；Y?Z驱动单元包含：Y?Z压电驱动件、关节球座、关节球、第一压件、第二压件和转接铜管；β驱动单元包含：β驱动基板、β压电驱动件、β驱动耐磨片、β驱动扇形动子和探针；β驱动扇形动子沿着垂直于驱动轴的轴线转动连接至第二压件；探针连接至β驱动扇形动子；β驱动耐磨片抵触β驱动扇形动子。本发明的三自由度纳米操纵及双轴倾转的透射电子显微镜样品杆，通过高度的集成化设计，使β倾转完全集成在样品杆活动端，解决了现有技术无法适用于狭小极靴场景的问题以及现有技术高分辨成像下样品漂移的问题。 |
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