| 扫描电子显微镜 |
| JP2007315390 2007-12-6 发明申请 |
| 2009-6-25 |
| 要解决的问题 : 工作中，以解决一个问题，例如一个ebac分析 : 一探针连接到一个放大器必须被触摸的一个分析对象的引线上，以检测一吸收电流通过所述分析对象引线，需要工人共享一个相当大的负载，以执行该工作，例如，在一个点，其由于该探针接触对象图案必须被搜索到的和还被设置在所述中心的SEM照片的显示图像和此后所述探头端点必须移动到所述SEM显示图像的中心，该步骤需要所述重复所述的工作的所述探针是所述SEM显示图像内的移动在放大率下的所述然后SEM图像和所述探针是所述探头接触图案上移动，同时SEM观察倍率是增加。溶液 : 在所述扫描电子显微镜，当所述分析对象的位置(探针接触位置)在样品被移动到所述图像显示区域的所述的视线中心，所述探针的探针的前端点可以被自动移动到所述视线所述的图像显示区域。版权 : (C)2009，inpit |
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