| 扫描探针显微镜 |
| US12187430 2008-8-7 发明申请 |
| 2009-6-25 |
| 在测量具有陡峭侧壁的图案的情况下，当接近图案侧壁时，探针通过作用在探针和侧壁之间的范德华力粘附到侧壁，并且在侧壁部分的测量轮廓中出现误差。 当测量具有几乎等于探针直径的凹槽宽度的图案时，探针粘附到两侧壁，探针不能到达凹槽底部，并且不能测量凹槽深度。 当在使用细长探头的微观高纵横比图案的测量中探头粘附到图案侧壁时，通过检测探头与图案侧壁的粘附并暂时增加探头与样品之间的接触力，使探头到达侧壁底部。 此外，通过利用图案的形状数据获得悬臂的扭转量的数据，通过获得的扭转量的数据校正由粘合引起的侧壁部分的轮廓误差。 |
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