| 显微镜 |
| US12343208 2008-12-23 发明申请 |
| 2009-6-25 |
| 提供了一种照明样品的照明光学系统、设置在照明光学系统一侧的照明侧瞳孔调制装置、保持照明侧瞳孔调制装置的照明侧转台、使照明侧转台旋转以在垂直于光轴的平面上沿轨道圆周移动照明侧瞳孔调制装置的照明侧转台旋转机构、中继物镜的瞳孔的中继光学系统； 成像侧光瞳调制装置，其设置在中继光学系统的一侧；成像侧转台，其保持成像侧光瞳调制装置；以及成像侧转台旋转机构，其旋转成像侧转台以在垂直于光轴的平面上沿着轨道圆周移动成像侧光瞳调制装置。 |
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