| 透射电镜 |
| EP08254110 2008-12-22 发明申请 |
| 2009-6-24 |
| 装置高角环形暗场(haadf)成像，而限制最大容许气体的压力引入该样品室(7)。该装置具有电子枪(2)，样品室，其中样品(5)组，一种气瓶(37)，用于向试样表面周围环境中的气体通过气体流量控制器(39)和气体喷嘴(40)，真空泵(36)的内部，用于排空样品室，一种物镜，它包括上，下磁极片(8‘，9’)，检测器(21，22，14，15)，用于检测通过样品传输来的电子，显示装置(19)，用于显示一样品的透射图像基于来自检测器的输出信号，孔板(50)具有微细的孔(A～E)，保持架(51)支撑孔板，驱动机构(52)，用于驱动夹座，和运动控制器(53)。标本之间设置上，下磁极片。横梁从电子枪透过物镜。所述孔板在交叉的方向上可移动的光轴上的梁上，下表面的物镜的上，下磁极片。 |
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