| 激光扫描显微镜装置和其表面轮廓测量方法 |
| KR1020080128142 2008-12-16 发明申请 |
| 2009-6-22 |
| 目的 : 一激光扫描显微镜和一其表面形状是提供一种测量的方法，以提供数据具有通过使用亮度高精度的信息。<\/P> 构成 : 一激光扫描显微镜(100)包括一个光偏转部分(9)，一个光学检测部分，Z束扫描部，一控制部分(16)，和一个操作处理部(19)。光偏转部分的一个面方向上扫描激光的光分析物(3)独立地，所述光检测部分检测所反射的光从所述分析物的量通过一光学膜片。所述Z束扫描部分的变化相对一个物镜的光学轴的距离和所述分析物，每个所述控制部分的测量高度信息扫描点。所述操作处理部分测量的一个轮廓通过多个高度的简档。<\/P> kipo2009<\/P> |
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