| 图案尺寸测量方法，和扫描电子显微镜 |
| JP2007310198 2007-11-30 发明申请 |
| 2009-6-18 |
| 要解决的问题 : 以采取测量与高精度和低已经采取不易损坏，从而远一种方法中测量的样品上的一个观察区域中的图案尺寸与入射电子束。溶液 : 所述图案的尺寸测量所述的方法在所观察的区域从所述强度上的信息一反射的电子或二次电子由所述入射电子束扫描产生的所述样品上所观察的区域被其特征在于，一个图像是通过创建叠加得到的多个电子显微镜的图像通过照射一个所述样品上多个观察的区域与所述的电子束，所述图案和所述的尺寸被测量的从所述一个图像上的强度信息。版权 : (C)2009，inpit |
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