| 用于一种原子力显微镜装置和方法用于所述表面性质的研究和修改 |
| WOEP08067253 2008-12-10 发明申请 |
| 2009-6-18 |
| 本发明涉及一种装置用于一用于该研究的原子力显微镜(AFM)表面的性质和\/或修改(11)。该装置包括一悬臂(柔性杆)(1)具有一个集成，压阻式传感器(8)和一个集成双压电晶片反射的致动器(7)，和一个测量头(5)。所述测量头(5)携带至少两个金属电极(4)，其可以被激活通过电端子(2)。所述测量头(5)和\/或所述悬臂(1)具有至少一个纳米级孔(6)，通过其同步加速器辐射或激光的光(3)被引导到所述材料的表面(11)待研究。此外，本发明涉及一种用于该研究的方法和表面特性和表面近的修改特性，其使用这种装置可以被执行的。为此，原子力显微镜(AFM)，表面增强拉曼散射(SERS)，光发射光谱仪(XPS，AlxGa1-xAs)，和材料通过修改本地序列中的曝光被执行或同时使用相同的装置。 |
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