| 扫描显微镜 |
| EP08021072 2008-12-4 发明申请 |
| 2009-6-17 |
| 一个观察位置是自动校正以跟随一个样品的运动不仅在该情况下，其一种显微镜体被变形，但还在该情况下该样品在任何方向移动。一扫描显微镜是提供，其包括一光源发射的照明光; 一扫描仪扫描所述的照明光在二维方向交叉到一个光轴线; 一个物镜，其所述的照明光照射到样品，和从所述样品收集的返回光; 一个聚焦位置调整部的光中的焦点位置调整轴方向; 一个光检测器，其检测所述收集的返回光; 一个存储部分存储所述检测返回光的强度，和一种的照射位置的位置信息所述的照明光设定由所述扫描器及所述聚焦位置调整部，同时它们有关的到每个其它; 一种图像处理部，用于获取多个两维图像的所述的基础上平行于所述的光轴线该返回光的强度的所述照射位置和所述的位置信息存储在所述存储部分与一个时间间隔，和处理所述两个三维图像，以便检测一个沿着光轴线移动的距离该样品的一个指定区域的方向; 和一个控制器控制所述聚焦位置调整部，从而以正确的光的聚光位置的所述的照明光在根据所检测到的移动距离所指定的区域。 |
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