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双尖端原子力显微镜探针和制造这种探针方法

US12367463 2009-2-6 发明申请

2009-6-11

本发明的一个方面涉及原子力显微镜探针。所述探针包括在一个悬臂上具有两个探针尖端的尖端配置。探针尖端彼此电绝缘并且相对于悬臂具有大致相同的高度。尖端构造的外表面具有具有基面和顶点的主体的形状。主体被大致对称于顶点且大致垂直于基面的间隙分成两个子部分。本发明的另一个方面涉及制造这种AFM探针的方法。