| 与隧道显微镜检查固体体表面的方法 |
| RU2007144043 2007-11-27 发明授权 |
| 2009-6-10 |
| 字段 : 物理; 测量。物质 : 本发明属于检查的样品的导电和非导电表面的凹凸的固体体。所述一个固体体的表面检查所述的方法使用一种扫描隧道显微镜包括创建一导电该测试表面的复制品,扫描该复制品具有一个隧道显微镜的一个上侧和然后在所述其它使用所述相同的侧针,但该扫描平面反射镜中反相,直接和反相的叠加反向扫描隧道显微镜图像,所述真实表面的重建通过比较在对应的点的切线的倾斜的角度的两个扫描隧道显微镜profilograms。效果 : 该工艺的简化所述测试样品从重构所述的真实表面的扫描隧道显微镜profilograms,增加精度,以及作为使用一个扫描隧道显微镜的用于检查的可能性导电和非导电表面。3显示 |