| 光栅探针显微镜和过程用于测量所述探针之间的相对相对 |
| DE112007001684 2007-7-27 译文 |
| 2009-6-4 |
| 本发明所述的一个的主对象是提供一种扫描探针显微镜，其可识别一个相对多个探针之间的准确位置。所述扫描探针显微镜包括多个探针21，22，23，24中的可移动该XYZ方向，一个级3在其中一个样品W被放置所述中和，其是可移动XY方向，一个检测部分6，它检测所述物理性能，其与所述的运动改变每个所述探针的21，22，23，24在Z-方向根据以该样品W的表面形状，在一个时间时，每个所述探针的21，22，23，24或所述阶段3是在该XY方向移动，一种图像生成部73使所述的表面图像的图像该样品W在响应于所述检测到的信号从所述检测部6，和一个相对位置计算部75，其基于所述表面图像获得在每个所述探针的21，22，23，24和通过获得所述图像生成部73，当该级3被移动在该XY方向之间的相对位置不改变所述探针21，22，2324在XY方向，该探针21之间的相对位置和计算，22，23，24通过检查该表面通过所述探针获得的图像。 |
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