显微镜
 
JP2007286197  2007-11-2  发明申请

2009-5-28
 
  要解决的问题 : 提供一种显微镜能够使用普通的物镜用于特殊观察,和增强替换所述物镜的透镜中的自由度的程度。溶液 : 所述显微镜包括 : 一照明光学系统(2),其照射一样品; 一个照明侧掩模(30),其被设置在所述的光学路径所述的照明光学系统; 一支撑装置,其支持该物镜(34)形成所述发送所述样品的照射图像由所述的照明光学系统; 中继光学系统(47,49和51),其被设置在所述物镜和所述的图像侧形成所述所述物镜的透镜光瞳的图像; 一图像侧掩模(62),其是所述光瞳的附近设置所述图像; 一调整装置,其中所述的照明调整所述的位置上侧掩模平面垂直于所述的光学所述的照明光学系统的轴; 和一个调整装置,其中所述的图像调整所述的位置上侧掩模平面垂直于所述所述物镜的光轴和所述的图像侧掩模的位置在一个光学轴方向的所述分别物镜透镜。版权 : (C)2009,inpit
 
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