| 聚焦装置和显微镜设备 |
| JP2007292278 2007-11-9 发明申请 |
| 2009-5-28 |
| 要解决的问题：提供一种能够进行优选聚焦的聚焦装置以及具有该聚焦装置的显微镜装置。 解决方案：该装置包括：第一检测装置，用于产生表示物镜的焦点位置和透射对象的成像位置的位移的第一散焦信号； 确定装置，用于通过预先在聚焦感测光接收元件上存储基准位置，基于聚焦感测光接收元件的输出信号和基准位置，确定是否对多个反射面中的期望面执行聚焦，所述聚焦感测光接收元件用于在多个反射面中的至少一个反射面的图案图像的横向位移方向上等分聚焦时的图案图像的光接收量； 以及调整装置，用于监测表示第一散焦信号的好坏的第一评估值，并且在确定装置确定评估值超过第一阈值并且对期望表面执行聚焦操作的情况下，基于第一散焦信号调整物镜和透射对象之间的间隔。 版权：(C)2009, JPO&INPIT |
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