| 激光显微镜 |
| JP2007292438 2007-11-9 发明申请 |
| 2009-5-28 |
| 要解决的问题 : 以容易地调整激光束以具有一个理想的光束直径匹配与所述光瞳一物镜透镜的直径在低的成本通过使用一个紧凑的传感器。溶液 : 所述激光显微镜1包括 : 一激光束源2; 一光束扩展器10用于调整所述光束的直径所述激光束从所述激光束源l1emitted2; 一功率表13用于检测所述的光量的所述激光束L1其直径是通过调整所述光束扩展器10; 所述物镜用于聚光透镜6所述激光束L1其直径是通过所述光束扩展器10调整一个样品上的一个; 一隔膜12设置在一位置光学共轭到所述物镜透镜6所述光瞳的位置，在所述光束扩展器10和所述功率表13，和具有一个孔径直径小于所述光束直径调整通过所述光束扩展器10; 和一个控制部分14用于控制所述光束扩展器10所述的基础上的所述的光量通过功率表13所述检测到的激光束L1不通过所述隔膜12和所述的光量通过功率表13所述检测到的激光束L1通过该隔膜12。版权 : (C)2009，inpit |
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