| 扫描探针显微镜和用于扫描探针显微镜探针单元 |
| WOJP08069879 2008-10-31 发明申请 |
| 2009-5-28 |
| 同时驱动所述一个扫描探针显微镜的探针在一个非常高的速度，所述探针之间的接触和一种样品是用光学方法检测，和快速探针检测适于样品，诸如一个大的半导体晶片和一平板显示衬底，其不能被驱动的被启用。一个平行光光束用于光学检测所述探针和样品之间的接触和光学振动所述探针被引导到所述物镜下方的区域用于观察该样品和聚焦在一固定点在一悬臂通过下面所述的微聚焦透镜，附着作为待驱动的物镜与所述悬臂，从而与所述光束照射该样品。因此，即使当所述悬臂被移动，所述所述悬臂上固定点可以被照射在所有时间。进一步，由于所述聚焦透镜是非常小，该样品可以与所述悬臂被扫描在高所述悬臂的速度而不影响所述的动态特性驱动单元，以观察和测量该样品。 |
微信公众号