| 扫描型探针显微镜和有源阻尼驱动控制装置 |
| EP07791425 2007-7-27 发明申请 |
| 2009-5-20 |
| 本发明提供了一种扫描探针显微镜，其允许主动阻尼，以被有利地进行。一Z扫描控制部的功能作为一个驱动控制部，以控制一个z向扫描器，其是一种控制对象。驱动控制是通过执行与一驱动信号供给所述控制对象通过一个调整处理的功能。所述调整通过使用一模拟功能的调整所述驱动信号的传递函数模拟一实际的传递函数表示的一个所述控制对象的实际频率特性，使得所述模拟执行的处理传递函数在所述调节振动的驱动信号的结果在降低一个从所述模拟输出信号的传递函数。所述调整功能的处理被配置以执行该模拟的处理传递函数G(s)在所述驱动信号，来执行的逆处理目标的传递函数K(S)对应的所述逆该目标的转移一输出上的功能从该G(s)，以确定所述驱动信号之间的差和所述的输出k(s); 以施加一个增益G到所述差值，和所述增益后，以增加所述信号被施加到所述驱动信号。因此，所述输出从所述g(S)近似于到所述目标传送功能，其是所述逆的所述k(s)。 |
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