| 束装置和系统包括一个粒子光束装置和一光学显微镜 |
| EP07120619 2007-11-13 发明申请 |
| 2009-5-20 |
| 本发明是指一束装置(1)，在特定的一个粒子光束装置，用于分析一个对象(12)，作为以及一系统包括一个粒子光束用于光学装置和一光学显微镜分析的对象。它是本发明的一个对象，以提供一束装置(1)包括一装置，以简化该所述的交换的交换和以减少该时间要检查的对象。根据本发明的一束装置(1)是提供包括至少一个光束发生器(2)，其产生一束，至少一个物镜(6)，其将光束聚焦在一个对象(12)设置在一保持元件(25)，其中所述的物镜(6)包括至少一个连接元件(26)，该保持元件(25)是连接。以所述连接元件(26)，使得所述保持元件(25)从所述连接是可移动元件(26)用于修改所述对象的(12)。可替换地，所述保持元件被安装到一束柱。 |
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