| 使用扫描电子显微镜检查晶片背面的设备 |
| KR1020070116071 2007-11-14 发明申请 |
| 2009-5-19 |
| 目的 : 一种装置用于检查一后表面的一晶片使用SEM(扫描电子显微镜)被提供到把握一后表面的缺陷的晶片通过使用一个逆变器，用于翻转该晶片上。<\/P> 构成 : 一个逆变器(200)。一晶片上的匝数。一种对准器(350)是相邻的所述逆变器。一种第一的机器人臂(370)将所述晶片以所述对准器。一种第二的机器人臂(430)将所述晶片从该对准器以一主室。一种卡盘用于接收所述晶片被安装在所述主室。该卡盘包括多个边缘的夹子(365)用于所述晶片的夹持所述边缘。<\/P> kipo2009<\/P> |
微信公众号