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扫描电子显微镜分辨率的测定方法

US11983622 2007-11-13 发明申请

2009-5-14

一种确定扫描电子显微镜分辨率的方法，包括 : 在扫描测量对象的扫描期间使用由扫描电子显微镜提供的对象的图像；在扫描电子显微镜扫描对象的图像期间从该对象的图像获得关于扫描电子显微镜分辨率的信息；并利用该信息来确定扫描电子显微镜的分辨率。