| 外观检查装置具有扫描电子显微镜和使用扫描电子显微镜图像形成方法 |
| JP2007193244 2007-7-25 发明申请 |
| 2009-2-12 |
| 要解决的问题 : 以提供一种检查装置和一种使用一种扫描电子显微镜检查方法，其检测一种高精度的AD转换的电子束图像并排除限制元件，用于采样速率作为对象物质。溶液 : 一采样信号是通过采样获得的模拟亮度信号通过一个二次电子探测器形成在一指定的采样速率。N个数字值被加在每连续n个数字值序列包含在所述采样信号，以及所述数字亮度信号在一个第N个采样频率的频率被形成。然后，一数字信号由所述位数相同的数字值作为所述的位数量的所述采样信号是通过将形成的每个所述的数字亮度信号的数字值N。一种图像信号。每个所述数字信号的数字值变为一个像素被形成。版权 : (C)2009，inpit |
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