| 浸没显微镜物镜、浸没显微镜及观察方法 |
| JP2023204342 2023-12-4 发明申请 |
| 2024-1-19 |
| 为了提供一种即使液浸的种类不同,也在整个视场中具有平坦的成像面,轴上色像差被良好地校正,并且在整个视场中具有良好地校正的倍率色像差的液浸显微物镜.解决方案:在第一透镜组G1中,在最物体侧选择性地配置第一接合透镜CL11a和第二接合透镜中的一个。 第一接合透镜CL11a由凸面形成于像侧的第一正透镜L11a、和凹面朝向物侧地接合于第一正透镜L11a的像侧的第一弯月透镜L12a构成。 第二接合透镜由与第一正透镜L11a相同的第二正透镜、以及与第一弯月透镜L12a相同的第二弯月透镜构成。 第二正透镜的折射率与第一正透镜L11a的折射率不同。 然后,根据一种类型的液浸IM,选择第一胶合透镜CL11a和第二胶合透镜中的一个,选择的附图:图1 |