| 探针用于使用所述相同的扫描探针显微镜和扫描探针显微镜 |
| JP2007185944 2007-7-17 发明申请 |
| 2009-2-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于一种扫描探针显微镜探针，其设置接触电阻到低阻抗所述相同的程度作为一大块金属和所述探针测量所述的位置，其迹线的所述表面一个样品被一目标由一比一光学装置的其它手段测量制品，和以提供所述扫描使用所述相同的探针显微镜。溶液 : 所述探针是至少构成一个金属弹簧1的尖锐的，在其一个端，一个音叉型石英振子2被一压电元件和多个夹持器6和3的用于支撑它们。所述金属弹簧1被接触的部分与所述音叉型石英振子2和所述基部的所述金属弹簧1被固定到一第一夹持器6，使得所述前端所述金属弹簧1的基于该方向是可移动地设置在一垂直方向上具有相对于所述一待测样品的表面，同时该音叉型石英振子2被保持到第二夹持器3和第二夹持器3的位置被调节以改变所述的接触状态该音叉型石英振子2和所述金属弹簧1。版权 : (C)2009，inpit |
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