| 扫描探针显微镜及其测量方法。 |
| JP2007019467 2007-1-30 发明申请 |
| 2008-8-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够测量的一大尺寸的样品，同时保持精度几十皮米。溶液 : 一个探针被设置到该状态固定到某一个之间的点以检测所述相对振动一个测量头和一样品，和所述的相对振动的共振频率是计算从该检测结果。进一步，所述样品的表面轮廓数据是检测扫描的同时，在所述探针在平行于所述表面所述的样品。通过去除所述谐振频率计算从所述形状数据，该样品可以测量所述的表面轮廓与高精度。版权 : (C)2008，inpit |
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