原子力显微镜
 
WOJP07064732  2007-7-27  发明申请

2008-3-13
 
  以增强所述速度和所述悬臂的灵敏度的检测一个谐振频率移在一个原子力显微镜(afm)。所述AFM(1)提取一基准信号和一从一位移的检测信号相移信号所述悬臂的传感器。所述参考信号是一个信号,它是从呈现一种相位变化限制在根据与一个谐振频移,同时所述相移信号是一个信号,其中所述的相移在根据与一个谐振频率移位。所述AFM(1)确定,作为一个谐振频率移,所述相移的相位差异信号从所述参考信号。所述AFM(1)可以确定一个所述的极性反转点之间的相位差参考信号和一个所述相移信号的极性反转点。所述AFM(1)可以执行一个相位调整之前,所述相位检测。所述相位调整偏移的一种检测点的一振荡波形上定义的谐振频率移到一极性反转点。所述检测点被设定到一位置,使得所述悬臂上是最接近到一样品所述振荡波形。
 
仿站