| 扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台 |
| CN200710094257.8 2007-11-22 发明申请 |
| 2009-5-27 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，包括底座 和与底座相配合的放置样品的平台，放置样品的平台表面设有与平台表面 成15度至90度的活动槽，该活动槽设有调节活动槽宽度的活动槽宽度调 节装置。本发明通过在样品台的平台上设置与样品台平台呈一定的角度活 动槽，在观察硅片的表面之后将扫描电子显微镜转动一定的角度就可以进 行硅片的断面观察，节约了工作的时间，降低工作成本，提高工作效率。 |
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