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扫描探针显微镜及控制方法

WOJP23021095 2023-6-7 发明申请

2024-1-18

检测机构(110)获取表示悬臂在Z轴方向上的位置的第一信息和表示样品S在Z轴方向上的位置或样品台(14)在Z轴方向上的位置的第二信息。接近处理部(104)基于所述第一信息和所述第二信息，确定减速位置。所述接近处理部(104)控制位移机构，以使接近速度在所述减速位置从高速向低速变化。