| 扫描探针显微镜 |
| JP2007282855 2007-10-31 发明申请 |
| 2009-5-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够自动校正所述的所述特性的频率移位一悬臂由于温度变化的。溶液 : 所述扫描探针显微镜，基于所述悬臂上进行AFM观察一种原子力振动的振幅值显微镜，包括一个校正装置，用于所述悬臂的所述特性的频率校正该偏移由于温度变化当所配置的一样品表面被观察到的作为温度被改变。一前向路径上，测量被制成为Z-轴的反馈控制是通过执行所述校正装置; 一返回路径上，该样品3是分离从该悬臂1和该悬臂1是调整以正确的该移位所述特性的频率。版权 : (C)2009，inpit |
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