| 透射电子显微镜和相同的操作所述的方法 |
| JP2007281316 2007-10-30 发明申请 |
| 2009-5-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一透射电子显微镜，其增强了当所述对准一衍射图案的加工性峰值和停止-进行下一对象的位置。溶液 : 所述传输电子显微镜包括 : 一装置2用于电子束照射试片3上; 一装置由一个发射电子束6，用于获取图像，其中将所述检测件3; 一个停止紧装置4具有一个孔4a，其中所述发射电子束的发送部; 一个用于显示一个基于获取的图像显示装置32发送的电子图像上; 和一控制装置31，它控制所有上述的和进行一预定的计算处理，并包括一个存储器。所述控制装置31存储所获取的图像而不经过所述停止紧装置4，和使所述显示装置32显示所述通过所述停止紧装置4获取的图像重叠的所述图像存储在所述存储器。版权 : (C)2009，inpit |
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