| 具有多个图像输出装置显微镜和使用该显微镜的集成电路装置的探测装置 |
| US12015775 2008-1-17 发明申请 |
| 2009-5-21 |
| 一种显微镜，包括对象分离器和被配置为接收对象图像的多个图像输出设备。 所述对象分离器包括 : 第一分束器，配置成将照明光引导到对象；正透镜，配置成收集来自所述对象的反射光并将反射光聚焦到所述第一分束器上；第二分束器，配置成将所述反射光分成多个光路和定位在所述光路上以呈现对象图像的多个负透镜。 一种用于集成电路装置的探测设备，包括至少一个配置成接触集成电路装置的焊盘的探针和显微镜，所述显微镜包括物体分离器和多个图像输出装置，所述多个图像输出装置配置成从物体分离器接收图像。 |
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