| 一种显微镜反射照明系统 |
| CN200820212002.7 2008-9-19 实用新型 |
| 2009-5-13 |
| 本实用新型提供一种显微镜反射照明系统，包括依次设置的光源、第一透 镜、第二透镜和显微物镜。光源为可见光和紫外光，第一、第二透镜之间的间 距为70mm～100mm，第二透镜于接收光线的一侧的球面半径为180mm～200mm， 且第二透镜的焦距为80mm～100mm。可见光或紫外光光源照射于第一透镜后， 整形成有一定面积的均匀光斑，整形后的光线由第二透镜汇聚，照射于显微物 镜上，从而为显微系统提供反射照明。该系统可以选择使用可见光和紫外光， 因此利用可见光与紫外光的波长特点，用可见光给低倍物镜提供照明，寻找显 微物面；切换为高倍物镜后，利用紫外光提高显微系统的分辨率，从而提高激 光微细加工的精度。 |
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