| 扫描电子显微镜 |
| KR1020070114093 2007-11-9 发明申请 |
| 2009-5-13 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜被提供以防止流入空气中颗粒的有效通过组合一边缘部分的一装载器门具有一凹槽和一室上形成一突起部和所述凹槽。<\/P> 的结构 : 腔室包括一样品，在晶片供应端口(111)的上侧的一个部分上。一种下气缸(120)位于所述底部上的所述腔室。一种板(130)是位于在所选择的所述失主空气圆筒和支承一个样品晶片。一个上气缸(170)是位于所述顶部上的所述腔室。装载器门(180)与所述上空气缸和操作是连接到密封所述样品晶片供应端口。腔室具有一突起部(112)形成于被突出到所述顶部的垂直方向的所述腔室。<\/P> kipo2009<\/P> |
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