| 扫描电子显微镜 |
| KR1020070114243 2007-11-9 发明申请 |
| 2009-5-13 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜被提供到所述倾斜一由所述的悬挂引起的晶片的所述晶片在一种通过安装一晶片保持器设定单元在交换室。<\/P> 构成 : 一种扫描电子显微镜包括 : 一装载器腔室，其具有一交换室(10)在其一个晶片是在备用，和一主腔室，其测量所述晶片的临界尺寸。所述交换室包括一个下板(11)支撑该晶片上，其被安装在所述交换室通过一个机器人臂。一种晶片台架单元(12)被连接到所述上下板，和一晶片设定单元(13)，其被连接到所述晶片台架单元校正所述水平和对该晶片安装在所述晶片台架的单元。<\/P> kipo2009<\/P> |
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