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在扫描电子显微镜中定向检测电子的方法和系统
US11410208 2006-4-25 发明授权
2009-5-12
一种在扫描电子显微镜中根据电子的发射方向检测电子的系统。 所述系统包括闪烁体电子检测器和一组电极,所述电极聚焦并控制所述电子流。 在从样品台(7)到闪烁体(3)的电子流的至少两个扇区中,扇区流控制电极(9)被放置并交替地供给电脉冲。 扇形流动控制电极(9)可以由金属网格制成,或者为导电板的形状,或者以薄导电层的形式沉积在微孔板的表面上。
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