| 一种用于扫描电镜的低温恒温器 |
| CN202311549139.7 2023-11-20 发明申请 |
| 2024-1-16 |
| 本申请提供了一种用于扫描电镜的低温恒温器，包括低温恒温器主体、软连接线、真空罩和固定罩，其中，低温恒温器主体被安装在扫描电镜的侧面，用于传递冷量；软连接线与样品台连接；真空罩的内部设有空腔，用于提供真空环境，低温恒温器主体位于真空罩的空腔中，外侧包括定位块结构；固定罩的内部设有空腔，真空罩位于固定罩的空腔中，固定罩的内侧包括第一定位销和第二定位销，第一定位销用于插入定位块结构来固定低温恒温器主体，并让低温恒温器主体与软连接线连接，以便软连接线能够将冷量传递给样品台，第二定位销用于插入定位块结构来固定低温恒温器主体，并让低温恒温器主体与软连接线脱离，以便样品台能够不受低温恒温器的影响而移动。 |
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