| 焦点调整装置和显微镜装置 |
| JP2007270199 2007-10-17 发明申请 |
| 2009-5-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一焦点调整装置在其一个用于进行聚焦检测所需的时间被一图案投影系统中缩短。溶液 : 所述焦点调整装置包括 : 一种投影装置将图案投影在一个测量物体通过的一个部分一种光瞳的一个物镜; 一个光接收装置包括一个光接收元件行包括一个多个的聚焦检测光接收元件接收图案反射从所述测量对象图像; 一个聚焦检测装置检测所述图案的位置图像投影在所述光接收元件上的行所述光接收信号的基础从所述光接收装置之间的一横向移位量和获得所述所述图案图像的位置和所述光接收元件行上的一预定位置; 和一聚焦装置设置用于调整的调整速度相对所述物镜之间的间隙和所述所述的基础上测量对象所述横向移位量由所述聚焦检测装置获得的并引入到所述聚焦状态。版权 : (C)2009，inpit |
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