| 包括通过光刻和/或FIB技术图案化的层状探针材料的用于高级扫描探针显微镜的纳米探针尖端 |
| US12114121 2008-5-2 发明申请 |
| 2009-5-7 |
| 通过在适当的衬底上形成适当的材料层，例如含金属的材料，并图案化该材料层以获得悬臂部分和尖端部分，可以提供特定设计的纳米探针。 在一些说明性方面， 另外， 可以在沉积探针材料之前提供三维模板结构， 从而能够在光刻的基础上限定复杂的尖端部分， 其中，可选地或附加地，具有高空间分辨率的其它材料去除过程，例如FIB技术，可用于定义纳米探针，其可用于电相互作用，高分辨率温度测量等。 因此，可以为先进的热扫描，应变测量技术等建立复杂的测量技术，其中需要与所考虑的表面进行热和/或电相互作用。 这些技术可有利地用于在制造高级集成电路期间的故障定位和局部分析。 |
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